結晶シリコン再生

半導体向けシリコン/ソーラー向けシリコン

結晶シリコン再生

●半導体向およびソーラー向シリコン再生で20年の実績
●クリーン環境・混酸エッチング設備で高品位洗浄を実現
●物理的処理・化学的処理を最適に組み合わせ、お客様のニーズに応えます

半導体用

トップ&テールやポリシリコンの再生が主で、概要としてはエッチング、超純水洗浄、クリーン乾燥、計量包装等をクリーンルーム内で行います。

太陽光発電池用

半導体生産ライン等から派生する様々なシリコン端材や多結晶材その他シリコン材料を、物理的化学的に処理し、各種洗浄によるりソーラー向け材料へと再生を行います。

シリコン再生事業の概要

【主な再生処理対象例】
結晶シリコン材料全般/単結晶トップ&テール/ポリシリコン/石英ルツボ残(ポットスクラップ)/小径シリコン(0.2mm以上) その他各種シリコン端材

ポットスクラップ
ポットスクラップ
石英付ポットスクラップ
石英付ポットスクラップ
単結晶端材
単結晶端材
多結晶端材
多結晶端材
ポリシリコン
ポリシリコン
T&T破砕品
T&T破砕品
ウエハー(膜・パターン付)
ウエハー(膜・パターン付)
トップ&テール
トップ&テール
【主な再生処理方法】フッ硝酸エッチング、フッ酸洗浄・塩酸洗浄・混酸洗浄、純水洗浄、加熱処理、溶剤処理、グラインダー研磨、PNタイプ判定、抵抗値測定 その他
【主な再生結果】表面酸化膜、金属汚染などの除去
一般粉塵・カーボン粉塵などの除去
付着石英の除去
その他接着剤などの異物除去
▼ポリエンド品・洗浄前後
ポリエンド品・洗浄前後
▼シード品・エッチング前後
シード品・エッチング前後
▼トップ&テール・エッチング前後
トップ&テール・エッチング前後
▼ウエハー(膜付・パターン付)洗浄前後
ウエハー(膜付・パターン付)洗浄前後
混酸エッチング装置
混酸エッチング装置
フッ酸洗浄装置
フッ酸洗浄装置
洗浄装置と乾燥機
洗浄装置と乾燥機
冷却室
放冷室
廃水処理設備
廃水処理設備
排ガス処理設備
排ガス処理設備
薬液タンク
薬液タンク

標準的なポットスクラップ処理の流れと品質管理

ポットスクラップ処理の流れと品質管理チャート

新規スクラップ材の再生方法開発

●様々な新規スクラップ材料の再生お引き合いには培った技術ノウハウをベースに積極的に開発テストに取り組みます
●ビーカー試験・PILOT装置の製作および試験・各種分析
●開発テストは内容・規模により有償とさせて頂く場合がございます

最適のプロセス・設備を探求し様々なスクラップ材の再生に取り組みます
▼ビーカー試験
ビーカー試験
▼各種分析確認(専門機関)
EPMA分析/電子顕微鏡観察
▼PILOT試験
治具・洗浄機試作実用化の検討/スケールアップによる洗浄効果の確認